99. 5% উচ্চ বিশুদ্ধতা পিএসএ অক্সিজেন জেনারেটর সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন জন্য পিএসএ অক্সিজেন উদ্ভিদ বিশুদ্ধতা

পিএসএ অক্সিজেন জেনারেটর(চাপ সুইং অ্যাডসরপশন অক্সিজেন জেনারেটর) হল সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন শিল্পে একটি গুরুত্বপূর্ণ পরিষ্কার সরঞ্জাম। উচ্চ-নির্ভুলতা চাপ সুইং অ্যাডসরপশন (পিএসএ) প্রযুক্তির উপর ভিত্তি করে,এটি উচ্চ বিশুদ্ধতা অক্সিজেন উৎপাদনের জন্য দ্বি-স্তরীয় আণবিক সিট (সাধারণ আণবিক সিট + উচ্চ বিশুদ্ধতা আণবিক সিট) দ্বারা গভীর বিশুদ্ধতা অর্জন করে 99 এর বেশি ঘনত্বের সাথে.৫%।

এর প্রধান সুবিধাগুলো হল স্থিতিশীল বিশুদ্ধতা, উচ্চ পরিচ্ছন্নতা, নির্ভরযোগ্য অপারেশন এবং শূন্য দূষণকারী নির্গমন।যা অর্ধপরিবাহী উত্পাদনের সময় অক্সিজেন বিশুদ্ধতা এবং বিশুদ্ধতার জন্য কঠোর প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে যেমন অক্সিডেশন এবং পাতলা ফিল্ম জমা. জন্য শীর্ষ স্তরের কনফিগারেশন হিসাবেPSA অক্সিজেন প্ল্যান্ট বিশুদ্ধতা, এই সরঞ্জাম দ্বারা উত্পাদিত অক্সিজেনের অশুদ্ধ পদার্থ (নাইট্রোজেন, আর্দ্রতা, কার্বন ডাই অক্সাইড ইত্যাদি) সমস্ত পিপিএম স্তরের নীচে নিয়ন্ত্রিত হয়,অপ্রতুল অক্সিজেন বিশুদ্ধতার কারণে চিপ ফলনের হ্রাস এড়ানোএটি অর্ধপরিবাহী উৎপাদনের জন্য অপরিহার্য অক্সিজেন সরবরাহ সরঞ্জাম।

অর্ধপরিবাহী উত্পাদন নির্ভুলতা উত্পাদন শীর্ষস্থানীয় প্রতিনিধিত্ব করে, চিপ প্রক্রিয়াগুলি ন্যানোমিটার স্কেল (5nm, 3nm) প্রবেশ করেছে। যে কোনও ক্ষুদ্র অমেধ্য চিপ শর্ট সার্কিটের কারণ হতে পারে,কর্মক্ষমতা হ্রাসঅক্সিজেন প্রধানত অর্ধপরিবাহী উত্পাদন যেমন অক্সিডেশন (SiO2 নিরোধক স্তর গঠন) এবং রাসায়নিক বাষ্প অবতরণ (সিভিডি) হিসাবে মূল প্রক্রিয়া ব্যবহার করা হয়।অক্সিজেন বিশুদ্ধতা সরাসরি নিরোধক স্তর বেধ অভিন্নতা প্রভাবিত করে, ফিল্ম আঠালো, এবং চিপ বৈদ্যুতিক কর্মক্ষমতা।

সাধারণ শিল্প-গ্রেড অক্সিজেন (93% বিশুদ্ধতা) তে নাইট্রোজেন এবং আর্দ্রতা যেমন অমেধ্য রয়েছে যা চিপ পৃষ্ঠের ত্রুটি তৈরি করতে পারে, যার ফলে ফলন 10-20% হ্রাস পায়; এর বিপরীতে, 99.৫% উচ্চ বিশুদ্ধতা অক্সিজেন পিপিএম স্তরের নিচে অমেধ্যের পরিমাণ নিয়ন্ত্রণ করতে পারে, কার্যকরভাবে ত্রুটি গঠন এড়ানো এবং চিপ ফলন 90% এর উপরে স্থিতিশীল থাকে তা নিশ্চিত করে।পিএসএ অক্সিজেন জেনারেটরএটি বায়ু থেকে নাইট্রোজেন, আর্দ্রতা এবং কার্বন ডাই অক্সাইডের মতো অমেধ্যগুলি গভীরভাবে অপসারণ করতে পারে।PSA অক্সিজেন প্ল্যান্ট বিশুদ্ধতানিয়ন্ত্রণের নির্ভুলতা ঐতিহ্যবাহী অক্সিজেন উৎপাদন সরঞ্জামের তুলনায় অনেক বেশি, যা অর্ধপরিবাহী উত্পাদনের প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তা পুরোপুরি পূরণ করে।

এছাড়াও, অর্ধপরিবাহী উত্পাদন অক্সিজেনের পরিচ্ছন্নতার জন্য অত্যন্ত উচ্চ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। আউটপুট গ্যাসটি ক্লাস 100 ক্লিনরুম শ্রেণিবদ্ধকরণ (১০০ টিরও বেশি কণা ≥0.বায়ুর এক কিউবিক ফুট প্রতি ৫ মাইক্রোমিটার).পিএসএ অক্সিজেন জেনারেটরএকটি উচ্চ দক্ষতা গ্যাস ফিল্টারিং সিস্টেম দিয়ে সজ্জিত যা অক্সিজেনের মধ্যে ক্ষুদ্র কণা ফিল্টার করতে পারে, চিপ পৃষ্ঠের কণা দূষণ এড়াতে এবং চিপ মান আরও নিশ্চিত করতে পারে।

ক্রয় করার সময়পিএসএ অক্সিজেন জেনারেটর, অর্ধপরিবাহী উদ্যোগগুলিকে চারটি মূল নীতি মেনে চলতে হবেঃ "যোগ্য বিশুদ্ধতা, ক্লিনরুম সামঞ্জস্য, স্থিতিশীলতা এবং নির্ভরযোগ্যতা এবং সরবরাহকারীর সম্পূর্ণ যোগ্যতা"।

• বিশুদ্ধতার দিক থেকে, সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে ≥99.5% অক্সিজেন বিশুদ্ধতা এবং অমেধ্যের সামগ্রী সহ সরঞ্জাম নির্বাচন করা জরুরি,এবং সরবরাহকারীদের তৃতীয় পক্ষের পরীক্ষার রিপোর্ট (যেমন এসজিএস) সরবরাহ করতে হবে, আইটিএস)
• ক্লিনরুম সামঞ্জস্যের ক্ষেত্রে, এটি নিশ্চিত করা প্রয়োজন যে সরঞ্জামটির আউটপুট গ্যাসের পরিচ্ছন্নতা ≥ ক্লাস 100 এবং সরঞ্জামের কেসিং ক্লিনরুম ইনস্টলেশনের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে
• স্থিতিশীলতা এবং নির্ভরযোগ্যতার দিক থেকে, অবিচ্ছিন্ন অপারেশন সময় ≥ 8,000 ঘন্টা / বছর এবং মূল উপাদানগুলির জন্য গ্যারান্টি ≥ 3 বছর পণ্যকে অগ্রাধিকার দেওয়া উচিত
• সরবরাহকারীর যোগ্যতা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।পিএসএ ভিত্তিক অক্সিজেন প্ল্যান্টউৎপাদন যোগ্যতা, ISO9001 মান ম্যানেজমেন্ট সিস্টেম সার্টিফিকেশন এবং সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের প্রাসঙ্গিক সার্টিফিকেশন (যেমন SEMI সার্টিফিকেশন),এবং তাদের অর্ধপরিবাহী শিল্পে সফল কেস প্রদান করতে হবে

বিক্রয়োত্তর সেবা অর্ধপরিবাহী শিল্পের উচ্চ চাহিদা পূরণ করতে হবে। সরবরাহকারীদের 24/7 প্রযুক্তিগত সহায়তা, নিয়মিত সাইটে রক্ষণাবেক্ষণ,এবং দীর্ঘমেয়াদী স্থিতিশীল অপারেশন নিশ্চিত করার জন্য দ্রুত খুচরা যন্ত্রাংশ সরবরাহ.

এর 99.5% উচ্চ বিশুদ্ধতার সুবিধা দিয়ে,পিএসএ অক্সিজেন জেনারেটরসেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে বিশুদ্ধ অক্সিজেন সরবরাহের ক্ষেত্রে এটি একটি মডেল হয়ে উঠেছে।এবং স্থিতিশীল অপারেটিং কর্মক্ষমতা অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়া জন্য নির্ভরযোগ্য অক্সিজেন সরবরাহ সমর্থন প্রদান করতে পারেন, এটি চিপ উত্পাদনকারী উদ্যোগের জন্য ফলন উন্নত করতে এবং খরচ কমাতে একটি মূল সরঞ্জাম হয়ে ওঠে।